目前的超速离心机（高速离心机没有真空系统）大部分采用机械旋转式真空泵和油扩散泵两级真空系统，真空度可达到10-3mmHg，这样就大大地减少了空气的磨擦阻力和摩擦所产生的温度升高。为了保证离心腔内的真空度，预冷的转子装到旋转轴上之前要把表面的霜雾水分擦净，再入离心室，然后启动真空泵抽真空。
　　
　　另外，在离心机长期的工作过程中，会有一些水分浸入瓢泵内与油混合。所以在每次检修时，要将真空泵底部的排油开关打开，把水排放出来，而后将附件漏斗插入排油口乙烯管中，加注MR一100真空油，一直加到油位观察中心标线高度若在排水之前发现油太脏、发黑，刚应全部将其放出更换。
　　
　　做完上述检修后，接着检查聚油槽下面的乙烯管内是否积满油。如发现积油，说明油霉分离器被堵塞，这样就需要将油雾分离器顶母螺丝拧下，拆下顶盖，抽出滤芯更换
　　
　　离心腔内的真空度是否良好，除与真空泵的本身性能和故障有关外，还与仪器机门的密封橡胶圈、轴封套和管道的密封有关。发现漏气要立即修理，特别是对一些不太注意的部位和接口处更要仔细检查。

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